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无尘净化车间用于控制产品（如硅片）在大气中的清洁度、温度和湿度，使产品在良好的环境中生产制造。根据国际惯例，每立方米空气中的颗粒直径大于划分标准中的颗粒数量。它不是无尘的，它是一个单位。哪怕是一点点灰尘也会产生很大的负面影响，所以必须对车间进行无尘清洁。无尘净化车间进风系统。新风过滤箱、中央净化空调（中央净化空调分一级/中级/三级过滤段），末端有送风口。必须安装净化增压箱和回风系统。回风出口、初滤器、中效回风箱、缓冲区。缓冲区门应配备电子联锁装置、洁净室、空气清新器、空气淋浴室、货物淋浴室和传送窗，主要传送小物件。在一些区域，工作台、层流罩（FFU）、洁净棚（移动净化棚）、自净化装置的安装要求达到10-1000级。用于测量洁净室的清洁度，激光尘埃粒子计数器。
